浸泡法中有一種形式是有機溶劑蒸汽除油，即含油污的金屬工件浸泡在有機溶劑的蒸汽中，而不是浸泡在液態的溶劑金屬清洗劑。在清洗的容器設備內浸泡法清洗是將油污工件懸掛在溶劑的上方，而不是放在溶劑內，當溶劑加熱沸騰后，大量的溶劑蒸發并附著在零件表面。金屬零件表面的油污與有機溶劑中的熱量相互作用，并滲透到油污與金屬之間，使油污在溶劑中溶解并逐漸剝落。溶劑中的蒸汽熱能與溶劑化學活性共同作用，不斷溶解金屬表面的油污，并掉入金屬零件下方的溶劑里，而新的溶劑蒸汽熱能不斷蒸發，在金屬工件油污表面凝結，又不斷地把油污帶走。如此不斷的循環溶解，最終將金屬表面的油污清除干凈。蒸汽法清洗金屬零件表面的油污要比溶劑金屬清洗劑浸泡法清洗金屬表面油污干凈，這是因為溶劑蒸汽不帶有油污，而且干凈。此外，金屬零件清洗后表面溫度升高，是因為溶劑放熱的作用，而且附著在金屬表面的蒸汽很快蒸發，因此易干燥，不會受濕氣影響而立即生銹。因溶劑蒸汽溶解掉落的油污都集中到溶劑的底部，故處理和分離簡單。有機溶劑種類繁多，因此在選擇溶劑時，應考慮以下因素。①具有良好的溶解性能，即有機溶劑本身要有較強溶解油污能力。②具有較低汽化熱和比熱容，使相同質量的金屬零件冷凝的溶劑最多，而所需的熱量最少。③化學穩定性好，不易揮發或分離。蒸氣相對密度比空氣大，空氣擴散損失少。④溶劑要有較高沸點，以便保證溶劑蒸氣清洗效果最好，且零件易于干燥。但沸點又不能太高，以便通過簡單的蒸餾能把溶劑與油污分解，溶劑重新利用。⑤溶劑金屬清洗劑在工作的條件下、無害、不易燃、不爆炸，對設備無腐蝕作用，不需采取防腐措施，或有一定容許程度的防火性和毒性，不破壞被清洗零件表面且能保持穩定。適合這些要求的溶劑主要是鹵代烴類。這種單一的溶劑蒸氣除油只能用在油污較輕的金屬零件清洗，對于表面有重油污的零件則很難清洗干凈。這是因為當金屬零件表面的溫度上升至溶劑蒸氣的溫度后，蒸氣的冷凝和清洗作用便停止了，此時重油污的表面可能尚未清洗干凈。根據要求，常用蒸氣除油溶劑有二氯甲烷、三氯乙烯、四氯乙烯、氯仿（三氯甲烷）和四氯化碳等。本文參考《金屬表面清洗技術》一書。